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Évaporation sous vide
Contrairement à la pulvérisation cathodique magnétron qui est basée sur un principe mécanique de bombardement atomique ou plus exactement ionique, l’évaporation sous vide est quant à elle basée sur un principe thermique. Ainsi l’échauffement permet à la matière d’atteindre son point de fusion puis, dans un second temps son point de vaporisation.
L’évaporation sous vide repose sur deux processus élémentaires :
- L’évaporation d’une source chauffée
- La condensation à l’état solide de la matière évaporée sur le substrat.
L’échauffement de la matière peut être engendré par plusieurs techniques :
- Evaporation effet Joule : un courant de typiquement quelques centaines d’Ampères est passé dans la matière à évaporer
- Evaporation par bombardement électronique (évaporation canon à électrons)
- Evaporation par effusion
Ces technologies d’évaporation sous vide permettent de maîtriser de façon très précise les épaisseurs déposées. Elles sont également très reproductibles et de surcroît très propres. Aucun effluent ou autre ne sort de l’équipement.
Découvrez les deux gammes de machines fabriquées par Alliance Concept basées sur l’évaporation sous vide :