Machine de dépôts par arcs cathodiques sous vide
Cette gamme de machines, basée sur la technologie du dépôt par arc cathodique sous vide, est dédiée à la production par batch. Ces machines sont à la fois standards mais restent adaptables aux demandes spécifiques.
Les nombreux équipements contenus dans nos systèmes de dépôts de couches minces par arc cathodique HC800 et HC110 offrent 3 avantages essentiels :
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- Chaque cathode possède un shutter
- Équipé d’une grille de chauffage permettant la longévité du chauffage
- Système de plasma booster offrant un décapage performant des pièces
HC800
Le système HC800 est orienté vers la production pouvant recevoir jusqu’à deux cathodes à arc de x mm, il permet la réalisation de multicouche complexe.
HC1100
Grâce à son grand volume, notre système de dépôt par arc cathodique sous vide HC1100 permet une large gamme de configuration. Cet équipement peut traiter un grand nombre de substrats par run.
Caractéristiques machines de dépôts par arc cathodique
HC 800 | HC 1100 | |
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Nombre de cathodes | 2 cathodes | 4 cathodes |
Dimensions des cathodes | 754 x 154 x 18mm | 754 x 154 x 18mm |
Pompage | Primaire bi-étagée + pompe turbo | Primaire bi-étagée + pompe roots + pompe turbo |
Ligne de gaz | Jusqu’à 8 lignes de gaz | Jusqu’à 8 lignes de gaz |
Carrousel | 2-3-4 ou 6 axes | 2-3-4,6 ou 8 axes |