Machines de dépôt de couches dures par arc cathodique
Basées sur la technologie du dépôt par arc cathodique sous vide, elles sont dédiées à la production par lot. Ces machines sont à la fois standard, mais peuvent également être adaptées aux demandes spécifiques.
Les nombreux équipements contenus dans nos systèmes de dépôts de couches dures par arc cathodique HC800 et HC1100 présentent 3 avantages essentiels :
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- Chaque cathode possède un shutter
- Système de grille de chauffage pour assurer sa longévité
- Système de plasma booster offrant un décapage performant des pièces

HC800

Le système HC800 est orienté vers la production. Il peut recevoir jusqu’à deux cathodes à arc de x mm et permet la réalisation de multicouche complexe.
HC1100

Grâce à son grand volume, notre système de dépôt par arc cathodique sous vide HC1100 permet une large gamme de configurations. Cet équipement peut traiter un grand nombre de substrats par run.
HC801

Combinant les particularités de sa gamme, la HC801 est une machine hybride qui réunit une enceinte à arc et une enceinte de sputtering en un seul équipement !
Experts dans le domaine du dépôt de couches dures grâce à notre technologie de pulvérisation cathodique, nous sommes en mesure de vous garantir des revêtements performants et adaptés à vos applications. Nos équipements hardcoating apportent une réelle résistance à l’usure et une durabilité de vos applications.
HC 800 | HC 1100 | HC 801 | |
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Nombre de cathodes | 2 cathodes | 4 cathodes | 2 cathodes |
Dimensions des cathodes | 754 x 154 x 18mm | 754 x 154 x 18mm | 754 x 154 x 18mm |
Pompage | Primaire bi-étagée + pompe turbo | Primaire bi-étagée + pompe roots + pompe turbo | Primaire bi-étagée + pompe turbo |
Ligne de gaz | Jusqu’à 6 lignes de gaz | Jusqu’à 8 lignes de gaz | Jusqu'à 7 lignes de gaz |
Carrousel | 2-3-4 ou 6 axes | 2-3-4,6 ou 8 axes | 2-4 ou 8 axes |
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