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Machine de pulvérisation cathodique
Cette gamme de machine de pulvérisation cathodique est développée pour la métallisation (par forcément métal… oxydes aussi) de substrat en série. Les machines sont équipées d’un sas d’introduction pour les opérations de chargement / déchargement multi niveau et intègrent des cathodes rectangulaires. Les substrats sont traités horizontalement par palette.
Cette machine de production est conçue pour augmenter les cadences de production. En effet, le chargement et le déchargement des palettes sont réalisés en temps masqué.
LINE440 / 640
Bâti de dépôt de couches minces PVD par défilement horizontal du substrat sous les cathodes. L’avantage majeur de cet équipement est de pouvoir réaliser les opérations de chargement/déchargement en temps masqué.
LINE1500
La LINE1500 est un bâti de dépôt de couches minces PVD au défilé vertical qui permet de traiter des substrats dont les dimensions correspondent aux standards photovoltaïques et écrans plats de GEN IV.
LINE2000
Fer de lance de notre vision future des équipements de dépôt de couches minces PVD, le bâti LINE2000 reprend le principe fonctionnel du système LINE440 avec réalisation du dépôt par défilement horizontal du substrat sous les cathodes.
Comparatif des machines LINE de pulvérisation cathodique
| LINE440 | LINE1500 | LINE2000 | |
|---|---|---|---|
| Dimensions enceinte (mm) | 4400 x 440 x 340 | 2600 x 2000 x 300 | 7800 x 2300 x 600 |
| Surface de dépôt utile (mm) * | 420 x 310 | 1000 x 1000 | 2000 x 2000 |
| Uniformité zone de dépôt | ± 2% | ± 5% | ± 5% |