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Machine d’évaporation sous vide thermique
Cette gamme de machines d’évaporation sous vide thermique est développée à la fois pour la R&D mais aussi pour la production par batch en fonction de la configuration de l’équipement. Ces différentes machines sont à la fois des machines standard mais restent adaptables aux demandes spécifiques.
EVA300
L’EVA300 est un bâti de dépôt de couches minces PVD à vocation de Recherche et Développement. Ses principaux atouts sont la robustesse, l’évolutivité et la compacité.
EVA450
A mi-chemin entre le développement et la production, cet évaporateur sous vide a été développé de façon à pouvoir proposer plusieurs configurations.
EVA600
Avec une platine de base de 600 mm de diamètre, cet équipement complète notre gamme de solutions pour l’évaporation thermique sous vide de couches minces PVD.
EVA760
Grâce à son grand volume, le système d’évaporation sous vide EVA760 permet une large gamme de configurations complexes. Cet équipement peut traiter un grand nombre de substrats par run.
Comparatif des machines EVA d’évaporation sous vide thermique
| EVA300 | EVA450 | EVA600 | EVA760 | |
|---|---|---|---|---|
| Dimensions enceinte (mm) | Ø300 x 450 | Ø450 x 600 | Ø600 x 800 | Ø760 x 920 |
| Surface de dépôt utile (mm) * | Ø260 | Ø415 | Ø520 | Ø720 |
| Uniformité zone de dépôt | ± 2% | ± 2% | ± 2% | ± 2% |