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Analyse des gaz et vapeurs résiduels
Le terme RGA (Resisual gas analysis) désigne l’analyse
des gaz et vapeurs résiduels dans les chambres
sous vide et les procédés du vide.
Cette analyse est effectuée en mesurant la pression partielle des espèces critiques à la qualité du vide et au bon fonctionnement des procédés. Elle est notamment primordiale pour comprendre l’interaction de ces espèces avec la croissance d’une couche mince. Elle permet également de discriminer les gaz provenant des pompes à vide ou du dégazage des parois.
Nous possédons une grande expérience dans l’intégration de spectromètres de masse RGA dont les marques Pfeiffer (PrismaPlus™ QMG 220) et Inficon (gamme Transpector).
Couplé à nos savoir-faire en matière de mise en œuvre du vide et d’étuvage sous vide, nous offrons à nos clients des bancs d’analyse de gaz résiduels de qualité, standards ou adaptés sur cahiers des charges.