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Fabricant de machines de Dépôt de Couches Minces PVD (Alliance Concept)

CT200


CT200 : configuration passe-paroi pour travail en salle blanche (Alliance Concept) {JPEG}Outil ultime de synthèse des couches minces, la CT200 est l’un des clustertools les plus avancés de sa génération et valorise parfaitement nos 25 années d’expérience.

Equipement versatile et évolutif destiné à être installé en salle blanche, ce cluster PVD est basé sur une chambre de transfert centrale équipée d’un robot sous vide. De cette chambre sont distribués les substrats vers les différents modules de procédé. Nous avons développé notre propre robot sous vide offrant une très haute fiabilité.


L’équipement se compose de différents modules, isolés les uns des autres garantissant une contamination particulaire nulle :
CT200 : notre transfert robotisé, fleuron de la CT200 (Alliance Concept) {JPEG}
  • Sas d’introduction ;
  • Chambre de transfert ;
  • Module RIE ;
  • Chambre de dépôt planar ;
  • Chambre de dépôt co-focale ;

En configuration "up" il est également possible de travailler avec des modules d’évaporation sous vide par faisceau d’électrons par exemple.

Si nous devions résumer CT200 en trois mots, ils seraient :

  • Performances,
  • Ergonomie,
  • Maintenance.

Nos CT200 rencontrent un très fort succès chez nos clients actifs dans plusieurs secteurs d’activité comme la Microélectronique, le Photovoltaique, l’Horlogerie et la Recherche.

  • Caractéristiques générales
Sas d’introduction : Cassette SEMI 200 mm ou cassette spéciale
Chambre de transfert : 4 (carrée) ou 6 (hexagonale) ports
Interface boîte à gants : Oui, en option avec porte coulissante
Vide limite (configuration turbo) : 5.10-7 mbar[1]
Vide limite (configuration cryogénique) : 5.10-8 mbar[1]
Implantation passe-paroi : Oui
Pilotage machine automatique : - Gestion des procédés ;
- Editeur procédé externe ;
- Traçabilité.
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Plaquette de présentation CT200

[1] Ces valeurs sont des valeurs mesurées sur des équipements réalisés et sont données à titre indicatif car sont tributaires de la configuration finale de chaque équipement.

Portfolio

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