Evaporateur PFEIFFER Classic 580

Ce bâti d’occasion PFEIFFER Classic 580 est un évaporateur qui comprend les équipements suivants :

• une enceinte refroidie par circulation d’eau,
• deux sources Joule,
• un canon à électrons TELEMARK 4×15-cc, un indexeur 376, un module de balayage 4 figures et une alimentation de puissance TELEMARK TT-10 (10kW),
• un dôme tournant avec trois secteurs démontables 120°,
• une tête quartz centrale MAXTEK RSH 600,
• un contrôleur d’épaisseur MAXTEK MDC 360,
• une pompe primaire PFEIFFER DUO65,
• deux pompes secondaires PFEIFFER TPH 2201 SP,
• deux lignes de gaz MFC.

D’autre part, ce bâti Classic 580 est équipé d’un système de préparation de surface avant dépôt par effluvage et d’un pilotage automatique.