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Enceintes
à vide
- Calcul de
résistance des parois
- Enceinte acier
/ inox / aluminium
- Enceinte refroidie / chauffée
- Système de dégazage réduit
- Sas d'introduction monoposte ou multiposte
- Polissage mécanique / électrolytique
- Vide limite jusqu'à 10-8 atm.cm3.s-1
- Bouchonnage pour tous types d'applications
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Enceinte
inox refroidie
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Mécanique
sous vide
- Passage étanche avec mouvement
de rotation, translation ou combiné
- Système à double joint
et pompage différentiel ou système à fluide
magnétique
- Robotique sous vide (robot scara,
trajectoire programmée, apprentissage)
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Mécanique sous vide
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Groupe
de pompage
- Intégration de pompes à
vide
- Rénovation / reconditionnement
de groupes existants
- Systèmes de pompages "secs"
- Combinés pompage + détection
de fuite
- Groupes spéciaux (antidéflagrants
/ hermétique / gaz corrosifs)
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Groupe de pompage |
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