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Enceintes à vide



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  • Enceinte acier / inox / aluminium
  • Enceinte refroidie / chauffée
  • Système de dégazage réduit
  • Sas d'introduction monoposte ou multiposte
  • Polissage mécanique / électrolytique
  • Vide limite jusqu'à 10-8 atm.cm3.s-1
  • Bouchonnage pour tous types d'applications

Enceinte inox refroidie
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Mécanique sous vide



  • Passage étanche avec mouvement de rotation, translation ou combiné
  • Système à double joint et pompage différentiel ou système à fluide magnétique
  • Robotique sous vide (robot scara, trajectoire programmée, apprentissage)
Mécanique sous vide
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Groupe de pompage



  • Intégration de pompes à vide
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Groupe de pompage
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Dernière modification : 26/05/05