Laboratoire de Mesures

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Caractérisation physique des couches déposées

• Mesureur d'épaisseur avec profilomètre mécanique KLA TENCOR Alpha-Step 500,
  
  
• Analyse par microscope optique,
  
  
• Mesure de résistivité.
  

Microscope

Mesureur d'épaisseur

Caractérisation machine

Nos atouts

• Cartographie des couches déposées,
  
  
• Calcul de l'uniformité,
  
  
• Validation des vitesses de dépôt,
  
  
• Caractérisation de la couche (adhérence, aspect...),
  
  
• Réalisation d'essais sur échantillons client.

Nos outils

• Jauges de mesures du vide : baratron, penning...,
  
  
• Détecteurs de fuite à l'helium : Alcatel ASM 120H, ASM 142,
  
  
• Gauss-mètre,
  
  
• Charge RF,
  
  
• Enregistreurs,
  
  
• Chaîne d'acquisition de données et de traitement de signal LabView™