Equipement compact et modulaire Evaporation - Pulvériation

« Investissez dans la base aujourd’hui et complétez-la demain ! »

Une conception optimisée qui vous garantit la qualité de vos recherches pour un investissement accessible. Des dépôts répondant à vos critères de qualité. Une large gamme de porte-substrats adaptés à votre process. Des procédés multiples pour une flexibilité dans vos recherches : Evaporation : source effet joule, canon à électrons, Pulvérisation : cathode magnétron ou diode, Des solutions combinées disponibles. Un automatisme de pompage performant pour votre confort d’utilisation : 2 types de pompage primaire : sec ou à palettes, 3 types de pompage secondaire : turbomoléculaire, à diffusion ou cryogénique. Choisissez parmi un grand choix d’accessoires et intégrez vous-même les modules EVA 300, au gré de vos besoins. Données techniques :  Dimension de la chambre  Diamètre 300 mm, hauteur 400 mm  Dimension du bâti  H (baie électrique) x L x P  1900 mm x 1280 mm x 600 mm  Descente en vide  10 min pour atteindre 8x10-5 mbar  23 min pour atteindre 9x10-6 mbar  Alimentation électrique  220V monophasé 50Hz  Taux de fuite  < 5x10-8 mbar.l.s-1

Evaporation Pulvérisation  Vitesse de dépôt ~ 1 Å.s-1 ~ 7,5 Å.s-1  Puissance - 150W RF (cible diamètre 75 mm)  Intensité 450A -  Configuration Porte-substrat / Cible Centré / Cible Centré / Cible  Pression de travail 5x10-4 mbar 8x10-3 mbar  Matériaux déposés Chrome Aluminium  Distance Source / Substrat 380 mm 70 mm

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Fichier	Taille du fichier	Langue	56k	128k	512k/ADSL
eva300_fr.pdf	1612ko		3'55"	1'36"	0'24"	Disponible
eva300_gb.pdf	0ko		-	-	-	Non disp.
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