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La famille DECORA est basée sur deux
systèmes de taille complémentaire DECORA 700 et
DECORA 1200.
Chacun des systèmes présente
les caractéristiques suivantes :
 Dépôt
PVD magnétron utilisant deux cathodes en vis à vis,
les pièces à traiter se déplaçant
entre ces deux cathodes. Deux ensembles tels que décrits
(utilisant chacun une paire de cathodes) sont installés
en standard pour permettre :
 Soit
de doubler la productivité (même matériau),
Soit de
réaliser deux couches successives de différents
matériaux.
Dépôt
en mode RF, DC ou DC pulsé.
Système
de chauffage des échantillons avant dépôt
pour assurer le dégazage.
Porte-substrat
configurable pour de nombreux types de pièces :
Système
carrousel,
Polarisation
RF ou BF pour décapage ionique ou dépôt
bias,
Dépôt
en mode dynamique ou alterné.
Les différentes adaptations du
porte-substrat permettent de traiter toutes sortes d'échantillons
tels que :
Montures
de lunette,
Boîtiers
de montre,
Bracelets
de montre,
Verres de
lunette ou filtres optiques,
Corps de
stylo,
Films découpés,
...
Système
de pompage composé de :
Cryopompe
ou turbo pompe suivant les applications,
Piège
type Messner polycold,
Groupe de
prévidage Roots et pompe primaire mécanique,
Groupe de
pompage sec (en option).
Pilotage
automatisé géré par ordinateur PC :
PC
fonctionnant sous Microsoft Windows™ avec progiciel de
supervision,
Automate
programmable de gestion des séquences.
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